Moksliniai straipsniai

2012 metai

1. Kaliasas, Remigijus; Baltrušaitis, J.; Mikolajūnas, Marius; Jakučionis, Liudas; Viržonis, Darius. Scaling down lateral dimensions of silicon nanopillars fabricated by reactive ion etching with Au/Cr self-assembled clusters as an etch mask // Thin Solid Films. Lausanne : Elsevier Science. ISSN 0040-6090. 2012, Vol. 520, iss. 6, p. 2041-2045.

 
2011 metai

1. Vanagas, Gailius; Mikolajūnas, Marius; Kaliasas, Remigijus; Viržonis, Darius. CMUT with mechanical anti-impact protection // MUT 2011 : 10th International Workshop on Micromachined Ultrasonic Transducers, June 16-17, 2011, University of Salerno Italy. Salerno : [s.n.], 2011. p. [1-2].
2. Viržonis, Darius; Vanagas, Gailius; Paukštaitis, Vaidas. Integrated microsystem for new generation of hand-held ultrasound imaging and detection // Smart Systems Integration [elektroninis išteklius] : 5th European Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS, MOEMS,ICs and Electronic Components, Dresden, Germany, 22-23 March 2011 / T. Gessner (Ed.) ; organizer: Mesago Messe Frankfurt GmbH, Germany, Fraunhofer Research Institute for Electronic Nano Systems ENAS, Germany, Fraunhofer Institute for Reliability and Microintegration IZM, Germany. Berlin, Ofenbach : VDE Verlag GmbH, 2011. ISBN 978800733248. paper 39, p. [1-7].
3. Abakevičienė, Brigita [Abakeviciene, Brigita]; Grigaliūnas, Viktoras [Grigaliunas, Viktoras]; Tamulevičius, Sigitas [Tamulevicius, Sigitas]; Viržonis, Darius [Virzonis, Darius]; Kopustinskas, Vitoldas; Šlapikas, Kęstutis [Slapikas, Kestutis]. Ion beam structuring of nickel film for micro-solid oxide fuel cell applications // E-MRS ICAM IUMRS 2011 Spring Meeting and E-MRS/MRS Bilateral Conference on Energy [elektroninis išteklius] : May 9-13, 2011, Nice, France / E-MRS, European Materials Research Society. Strasbourg : E-MRS, 2011. p. PB1-10.
4. Krikščikas, Valdas; Viržonis, Darius. Mikroskysčių valdymas talpiniais mikromontuojamais ultragarso keitikliais // Technologijos mokslai šiandien ir rytoj – 2011 : studentų mokslinių darbų konferencijos pranešimų medžiaga, Kauno technologijos universitetas, Lietuva, 2011 m. gruodžio 9 d. Kaunas : Technologija, 2011. ISBN 9786090202654. p. 105-110.
5. Morkvėnaitė-Vilkončienė, Inga; Krikščikas, Valdas; Viržonis, Darius. Optinių struktūrų formavimo elektronų pluošteliu dielektriniuose pagrinduose tyrimas // Studentų moksliniai darbai 2010-2011 m. : konferencijos medžiaga, D. 1 : Vilnius, 2011 m. kovo 18-19 d. Vilnius : Lietuvos mokslo taryba, 2011. ISBN 9786094170218. p. 90-92.

 

2010 metai

1. Ramanavičienė, Almira [Ramanaviciene, Almira]; Viržonis, Darius [Virzonis, Darius]; Vanagas, Gailius; Ramanavičius, Arūnas [Ramanavicius, Arunas]. Capacitive micromachined ultrasound transducer (cMUT) for immunosensor design // Analyst. Cambridge : The Royal Society of Chemistry. ISSN 0003-2654. 2010, Vol. 135, iss. 7, p. 1531-1534.
2. Petruškevičius, Raimondas; Baltrušaitis, Jonas; Kezys, Darius; Mikolajūnas, Marius; Grigaliūnas, Viktoras; Viržonis, Darius. E-beam lithography of computer generated holograms using a fully vectorial 3D beam propagation method // Microelectronic Engineering. Amsterdam : Elsevier. ISSN 0167-9317. 2010, Vol. 87, no. 11, p. 2332-2337.
3. Vanagas, Gailius; Viržonis, Darius; Paukštaitis, V.; Baranauskas, D.; Červiakov, S.. Integrated front end electronics design for micromachined ultrasound transducers // Electronics and Electrical Engineering = Электроника и электротехника = Elektronika ir elektrotechnika. Kaunas : Technologija. ISSN 1392-1215. 2010, nr. 7(103), p. 117-120.
4. Morkvėnaitė-Vilkončienė, Inga; Viržonis, Darius. Investigation of scanning probe microscope electromechanical system dynamics // Intelligent Technologies in Logistics and Mechatronics Systems, ITELMS’2010 : proceedings of the 5th international conference, June 03-04, 2010, Panevėžys, Lithuania / Kaunas University of Technology Panevezys Institute. Panevezys Technology and Science Park, Warsaw Motor Transport Institute, Tallin University of Technology, Riga Technical University. Kaunas : Technologija, 2010. ISBN 9789955258360. p. 130-132.
5. Ivašauskas, Algis; Morkvėnaitė-Vilkončienė, Inga; Viržonis, Darius. Skenuojančio zondo mikroskopo elektromechaninės sistemos dinaminių savybių tyrimas // Technologijos mokslai šiandien ir rytoj – 2010 : studentų mokslinių darbų konferencijos pranešimų medžiaga, 2010 m. gruodžio 10 d. / Kauno technologijos universitetas. Kaunas : Technologija, 2010. ISBN 9789955259046. p. 52-57.
6. Morkvėnaitė-Vilkončienė, Inga; Viržonis, Darius. Skenuojančio zondo mikroskopo elektromechaninės sistemos dinaminių savybių tyrimas // Telekomunikacijos ir elektronika – 2010 = Telecommunications and electronics – 2010 : tarptautinės studentų mokslinės konferencijos programa ir pranešimų medžiaga / Kauno technologijos universitetas. Kaunas : Technologija, 2010. ISBN 9789955257929. p. 33-35.
7. Morkvėnaitė-Vilkončienė, Inga; Viržonis, Darius. Skenuojančio zondo mikroskopo liestuko-jutiklio sistemos dinaminės sąveikos su paviršiumi tyrimas // Technologijos mokslai šiandien ir rytoj – 2010 : studentų mokslinių darbų konferencijos pranešimų medžiaga, 2010 m. gruodžio 10 d. / Kauno technologijos universitetas. Kaunas : Technologija, 2010. ISBN 9789955259046. p. 7-11.
8. Kaliasas, Remigijus; Mikolajūnas, Marius [Mikolajunas, Marius]; Viržonis, Darius [Virzonis, Darius]. Study of nanodot structure fabrication while using Au/Cr self-assembled clusters as an etch mask // Intelligent Technologies in Logistics and Mechatronics Systems, ITELMS’2010 : proceedings of the 5th international conference, June 03-04, 2010, Panevėžys, Lithuania / Kaunas University of Technology Panevezys Institute. Panevezys Technology and Science Park, Warsaw Motor Transport Institute, Tallin University of Technology, Riga Technical University. Kaunas : Technologija, 2010. ISBN 9789955258360. p. 107-110.

 

2009 metai

1. Mikolajūnas, Marius; Vanagas, Gailius; Viržonis, Darius. Finite element analysis of capacitive micromachined ultrasonic transducers for flow measurements in gases and fluids // Intelligent Technologies in Logistics and Mechatronics Systems, ITELMS’2009 : proceedings of the 4th international conference, June 4-5, 2009, Panevezys, Lithuania / Kaunas University of Technology Panevezys Institute. Panevezys Technology and Science Park. Warsaw Motor Transport Institute. Tallin University of Technology. Riga Technical University. Kaunas : Technologija, 2009. ISBN 9789955257059. p. 88-92.
2. Vanagas, Gailius; Mikolajūnas, Marius; Grigaliūnas, Viktoras; Viržonis, Darius. Finite-element analysis of microelectromechanical membranes vibration // Materials science = Medžiagotyra / Kaunas University of Technology, Academy of Sciences of Lithuania. Kaunas : Technologija. ISSN 1392-1320. 2009, Vol. 15, no. 4, p. 296-301.
3. Palevičius, Arvydas; Janušas, Giedrius; Narijauskaitė, Birutė; Mikolajūnas, Marius; Viržonis, Darius. Implementation of computer-generated holograms using 3D electron beam lithography // Journal of Vibroengineering / Vibromechanika, Lithuanian Academy of Sciences, Kaunas University of Technology, Vilnius Gediminas Technical University. Vilnius : Vibromechanika. ISSN 1392-8716. 2009, Vol. 11, no. 3, p. 407-414.
4. Mikolajūnas, Marius; Baltrušaitis, Jonas; Kopustinskas, Vitoldas; Vanagas, Gailius; Grigaliūnas, Viktoras; Viržonis, Darius. Plasma etching of virtually stress-free stacked silicon nitride films // Thin Solid Films. Lausanne : Elsevier Science. ISSN 0040-6090. 2009, Vol. 517, iss. 19, p. 5769-5772.

 

2008 metai

1. Mikolajūnas, Marius; Kaliasas, Remigijus; Andrulevičius, Mindaugas; Grigaliūnas, Viktoras; Baltrušaitis, Jonas; Viržonis, Darius. A study of stacked PECVD silicon nitride films used for surface micromachined membranes // Thin Solid Films. Lausanne : Elsevier Science. ISSN 0040-6090. 2008, Vol. 516, iss. 23, p. 8788-8792.
2. Jukna, Tomas; Baltrušaitis, J.; Sinkevičius, Vytenis; Viržonis, Darius. A thin chromium film formation monitoring method: monitoring of the early stages // Thin Solid Films. Lausanne : Elsevier Science. ISSN 0040-6090. 2008, Vol. 516, iss. 10, p. 2943-2947.
3. Vanagas, Gailius; Mikolajūnas, Marius; Grigaliūnas, Viktoras; Jarimavičiūtė-Žvalionienė, Renata; Ivašauskas, Algis; Viržonis, Darius. Investigation of dynamic parameters of multilayered microelectromechanical membranes with finite element modeling // Materials science = Medžiagotyra / Kaunas University of Technology, Academy of Sciences of Lithuania. Kaunas : Technologija. ISSN 1392-1320. 2008, Vol. 14, no. 2, p. 175-178.
4. Milašauskaitė, Ieva; Grigaliūnas, Viktoras; Viržonis, Darius. Optical interferometry for displacement measurement of a microelectromechanical membrane // Advanced Materials and Technologies : book of abstracts of the 10th international summer school-conference and 3rd summer school European Doctorate in Physics and Chemistry of Advanced Materials, 27-31 August 2008, Palanga, Lithuania / Kaunas University of Technology. Kaunas : Technologija. ISSN 1822-7759. 2008, p. 52.
5. Milašauskaitė, Ieva; Grigaliūnas, Viktoras; Viržonis, Darius. Optical interferometry for displacement measurement of a microelectromechanical membrane // Mechatronic Systems and Materials : scientific papers / Kaunas University of Technology, Lithuanian Academy of Sciences, IFToMN National Committee of Lithuania, Vilnius Gediminas Technical University. Kaunas : Technologija. ISSN 1822-8283. 2008, p. 8-9.
6. Vanagas, Gailius; Viržonis, Darius; Mikolajūnas, Marius. Testing the capacitive micromachined transducers produced with wafer bonding process // Intelligent Technologies in Logistics and Mechatronics Systems, ITELM’2008 : proceedings of the 3rd international workshop, May 22-23, 2008, Panevėžys, Lithuania / Kaunas University of Technology Panevezys Institute, Warsaw Motor Transport Institute, Tallin University of Technology, Riga Technical University. Kaunas : Technology, 2008. ISBN 9789955255314. p. 132-139.