Šviesos diodo aktyviojo sluoksnio padengimas sidabro nanosalelėmis

Panevėžio Mechatronikos Centre (PMC) Agnė Kalpakovaitė, Vilniaus Universiteto Fizikos fakulteto 3 kurso studentė, atliko vieną iš Lietuvos Mokslo Tarybos organizuojamos studentų vasaros praktikos išsikeltų uždavinių – Vilniaus Universiteto Taikomųjų Mokslų Institute cheminio nusodinimo iš metalorganikos garų fazės (MOCVD) technologija užauginto šviesos diodo aktyviojo sluoksnio padengimo sidabro nanosalelėmis darbus. Sužadinus šviesos diodo aktyvųjį sluoksnį vyksta elektronų rekombinacija, kurios metu gaunamai spinduliuotei sąveikaujant su metalingoje nanosalelėje virpančiais plazmonais gali įvykti plazmonų rezonansas. Plazmonų rezonanso dėka galime gauti efektyviau šviečiantį prietaisą.

PMC buvo atlikti fotorezisto padengimo, elektroninės litografijos skenuojančiu elektroniniu mikroskopu (SEM), paviršiaus matavimų atominės jėgos mikroskopu (AJM) darbai.

Elektroninės litografijos būdu, fotorezisto sluoksnyje 200 μm2 plote buvo suformuotos periodinės struktūros – 80 nm skersmens ir  150 nm gylio duobutės, išsidėsčiusios 200 nm periodu. Ant suformuotos struktūros buvo užgarintas 20 nm storio sidabro sluoksnis. Šiuo metu atliakami fotorezisto nukėlimo (lift-off) darbai, galutiniam rezultatui – sidabro nanosalelėms gauti.

Šio darbo PMC metu įgyta daug praktinio darbo AJM, SEM įgūdžių, įsisavinta elektroninės litografijos technologija.