Naudojama fotorezisto tolygiam džiovinimui. Tolygus džiovinimas pašalina skiediklį iš rezisto, pagerina rezisto adhezija su plokštele, pašalina įtempimus, kurie susidarė centrifuguojant rezistą. Techninai duomenys: plokštelės iki 4“, pakėlimo kaiščiai, temperatūra iki 250°C Programuojamas laikas ir temperatūra
Panaudojimo galimybės (konkrečios veiklos): Išdžiovinti fotorezistą, kurio buvo padengtos silicio ar kitu medžiagų plokšteles gaminant nano ir tikro struktūras.
Personalas aptarnaujantis prietaisą: Valdas Krikščikas 8 617 53122 [email protected]
Prietaiso darbo laikas, skiramas atvirai prieigai (val. per mėn): 100 val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant visą kainą: 6 €/val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant lengvatines sąlygas: 3 €/val.
