Šis reaktorius yra skirtas mokslinių tyrimų ir bandomųjų pavyzdžių apdorojimui plačiame diapazone fluoro/chloro junginiais. Kamera yra atidaroma nukeliant gaubtą. Valdymas Windows pagrindu sukurtos programos. Įrengimo kontrolė atliekama programuojamu valdikliu. 600W RF generatorius (13,56MHz) su automatiniu grandinių suderinimu.
Panaudojimo galimybės (konkrečios veiklos): Mikro ir nano darinių gamyba sauso ėsdinimo būdu.
Personalas aptarnaujantis prietaisą: Magistras Remigijus Kaliasas 8 600 11584 [email protected]
Prietaiso darbo laikas, skiramas atvirai prieigai (val. per mėn): 100 val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant visą kainą: 35 €/val.
Prietaiso naudojimosi įkainiai (eur už val.) be PVM taikant lengvatines sąlygas: 21 €/val.
